金属及非金属颗粒

铝蒸发料、镍蒸发料、铜蒸发料、银蒸发料、钛蒸发料、硅蒸发料、钒蒸发料、镁蒸发料、锡蒸发料、铬蒸发料、铟蒸发料、银铜蒸发料、金蒸发料、微晶银粉等。

氧化物

钛钽合金、锆钛合金、硅铝合金、三氧化二铝、二氧化锆、五氧化三钛、石英环、石英片、氧化铒、钛酸镧等

氟化物

氟化镁、氟化镝、氟化镧等

蒸镀材料主要工艺流程包括混料，原料预处理，成型，烧结和检测等。将配制好的原料经过机械混合达到均匀分散（混料），然后进行常温或高温处理（原料预处理）来提高材料的纯度，细化颗粒的粒度，激发材料的反应活性，降低材料烧结温度。接下来经过机械方式将材料加工至达到所需规格（成型）。成型后将材料在高温下烧结，使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联，最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的过程（烧结）。待蒸镀材料生产完后，采用蒸发镀膜设备对材料的性能进行检测，检查产品性能指标是否合格。