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首先先来看一个芯片的切面图。
图片中的M1(MetalLayer1,金属层1),M2,M3和M4指的是横向的金属连接线共四层;只有横向的线没有纵向的连接也是不行的,所以图中的Via(不知道怎么解释,百度给的意思是通过,经过)就是纵向的连接,把金属层连接起来从而实现整颗芯片的功能。实际上在金属导线的制造过程中(铜工艺)Via1和M1是同时做出来的。对于铜工艺的话工艺流程如下:
刻蚀掉需要做导线的地方(Etch)阻隔层(PVD-BarrierLayer)粘合层(PVD-AdhersionLayer)种子层(PVD-SeedLayer)电镀(ECP-Electro-ChemicalPlating)化学机械研磨(CMP-Chemical-MechanicalPolishing)同时做出Via和Metal的方法成为双大马士革工艺(Dual-Damascene)
这种工艺在铜这种金属上已经发挥到了极致,但是随着关键尺寸(CritialDimension-CD)越来越小,特别是到了7nm之后,由于铜这种材料的性质(可参考之前文章)已经越来越不适合来做金属导线,所以钴就被发现并替代了铜。
图片来源:应用材料公司网站