MOCVD英文全称Metal-organicChemicalVaporDeposition，中文意思为金属有机化合物化学气相沉积，是在气相外延（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD作为LED芯片生产中核心设备，用于在蓝宝石（Al2O3）衬底上外延生长，制作外延片。-

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